紫外臭氧清洗機具有數(shù)字控制系統(tǒng)，燈管尺寸自4x4" 至 20x20"不等。PSD的特征在于強大的柵格紫外燈，帶反射罩，樣品臺高度可調(diào)，可以很好地進(jìn)行樣品定位，使清洗效果達(dá)到理想狀態(tài)。4x4"或以上尺寸系統(tǒng)出氣口雙氣路設(shè)計PSD紫外臭氧清洗機通過一個操作簡便的預(yù)置控制器進(jìn)行控制，讓工作變的輕而易舉。

紫外臭氧清洗機原理:通過紫外燈發(fā)出適當(dāng)強度的185nm和254nm波長高能紫外線破壞有物分子(污染物)。185nm波長紫外光的光能量能將空氣中的氧氣(O2)分解成臭氧(O3)，而254nm波長的紫外光的光能量能將O3分解成O2和活性氧(O)， 254 nm紫外線同時激發(fā)表面的有機物分子，提高其敏感性，可以被臭氧分子團(tuán)破壞。在連續(xù)進(jìn)行的光敏氧化反應(yīng)中，生成的活性氧原子與活化了的有機物(即碳?xì)浠衔?分子發(fā)生氧化反應(yīng)，生成揮發(fā)性氣體(如CO2，CO, H2O,NO等)逸出物體表面，從而*清除粘附在物體表面上的有機污染物，達(dá)到清洗的目的。因為臭氧具有短暫的半衰期，也能被254nm紫外線破壞，Novascan紫外臭氧清洗機中采用了可調(diào)高度樣品臺，可以使樣品正確定位以達(dá)到很好的光線照射效果。PSD和PSDP 系列紫外臭氧清洗機破壞污染物，然后釋放出CO2和水蒸汽，剩余的臭氧恢復(fù)到分子氧的狀態(tài)。